Filmes produzidos com compostos de tungstênio para aplicações elétricas e optoeletrônicas: uma revisão

Nívia Luciana Costa de Siqueira

ORCID iD Universidade Federal do Rio Grande do Norte (UFRN) Brasil

Paulo Henrique Chibério

ORCID iD Universidade Federal do Rio Grande do Norte (UFRN) Brasil

João de Medeiros Dantas Neto

ORCID iD Universidade Federal do Rio Grande do Norte (UFRN) Brasil

Vamberto Monteiro da Silva

ORCID iD Instituto Federal de Educação, Ciência e Tecnologia da Paraíba (IFPB) Brasil

Wilson Acchar

ORCID iD Universidade Federal do Rio Grande do Norte (UFRN) Brasil

Resumo

Os materiais a base de tungstênio têm crescido em interesse nos últimos anos em virtude das suas propriedades únicas e possibilidade de utilização em uma ampla gama de aplicações. Em vista disso, neste trabalho foi realizada uma revisão sistemática da literatura (RSL) acerca de filmes produzidos com compostos de tungstênio como material base. Foram analisados os métodos de deposição empregados na confecção dos filmes, bem como as propriedades elétricas, dielétricas e optoeletrônicas estudadas nos trabalhos analisados, as principais aplicações estudadas e/ou sugeridas, composição do filme, dentre outros aspectos. Foram realizadas buscas nas plataformas de pesquisa: Periódicos CAPES, Science Direct, Scopus e Google Acadêmico. Os critérios de análise, seleção e exclusão de trabalhos foram definidos de acordo com a estratégia PICO – População, Intervenção, Comparação e Resultados (outcomes). Na primeira etapa da busca foram encontrados 187 artigos, dos quais 36 foram selecionados para leitura integral após a aplicação dos critérios. O método de produção mais utilizado foi o Sputtering, seguido de Deposição de Vapor Químico (DVQ), Sol-gel e Tape Casting. As principais propriedades estudadas pelos trabalhos foram a resistividade elétrica e a curva IV. Quanto à composição, o trióxido de tungstênio foi o composto usado por mais trabalhos na confecção dos filmes. A aplicação mais indicada foi em dispositivos eletrocrômicos, como películas para janelas inteligentes, displays e outras aplicações optoeletrônicas. Também foram indicadas aplicações como supercapacitores, células solares, sensores, armazenamento de energia e fotodetectores. Com base nos artigos analisados, é possível afirmar que filmes de tungstênio possuem interessantes propriedades para diferentes aplicações, sendo um material versátil e potencial para mais investigações.

Palavras-chave


filmes de tungstênio; filmes finos; métodos de deposição; óxido de tungstênio; sputtering


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