Filmes produzidos com compostos de tungstênio para aplicações elétricas e optoeletrônicas: uma revisão
DOI:
https://doi.org/10.18265/2447-9187a2022id7629Palavras-chave:
filmes de tungstênio, filmes finos, métodos de deposição, óxido de tungstênio, sputteringResumo
Os materiais à base de tungstênio têm despertado interesse nos últimos anos devido às suas propriedades únicas e à possibilidade de utilização em uma ampla gama de aplicações. Em vista disso, neste trabalho, foi realizada uma revisão sistemática da literatura (RSL) acerca de filmes produzidos com compostos de tungstênio como material base. Foram analisados os métodos de deposição empregados na confecção dos filmes bem como as propriedades elétricas, dielétricas e optoeletrônicas estudadas nos trabalhos analisados, as principais aplicações estudadas e/ou sugeridas, composição do filme, entre outros aspectos. As buscas foram realizadas nas plataformas: Periódicos CAPES, Science Direct, Scopus e Google Acadêmico. Os critérios de análise, seleção e exclusão de trabalhos foram definidos de acordo com a estratégia PICO – População, Intervenção, Comparação e Resultados (outcomes). Na primeira etapa da busca, foram encontrados 187 artigos, dos quais 36 foram selecionados para leitura integral após a aplicação dos referidos critérios. O método de produção mais utilizado foi o Sputtering, seguido dos de Deposição de Vapor Químico (DVQ), Sol-gel e Tape Casting. As principais propriedades estudadas nos trabalhos foram a resistividade elétrica e a curva IV. Quanto à composição, o trióxido de tungstênio foi o composto mais investigado nos trabalhos sobre confecção dos filmes. A aplicação mais indicada foi em dispositivos eletrocrômicos, como películas para janelas inteligentes, displays e outras aplicações optoeletrônicas. Também foram indicadas aplicações como supercapacitores, células solares, sensores, armazenamento de energia e fotodetectores. Com base nos artigos analisados, é possível afirmar que filmes de tungstênio possuem propriedades interessantes para diferentes aplicações, sendo um material versátil e com potencial para mais investigações.
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